helium mass spectrometer leak detector (165) オンライン メーカー
応答時間 (秒): <1秒
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2, He3, He4)
漏れ検知ポート: DN25KF
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
直径: 755*467*1180mm
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
最大許容される漏れ検知圧 (Pa): 1800Pa
ミニリーク検出率 ((Pa.m3/s) /真空モード: 5*10-13 パ.m3/s
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
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