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半導体産業用ヘリウム質量スペクトロメーター漏れ検出器

ヘリウムの漏出探知器
2024-09-05
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ヘリウム漏れ検出器の導入: ヘリウム漏れ検出器 ヘリウムは複数の理由で漏れを検出するためにトレーサーガスとして使用される.これらの理由には,空気中に約5ppmしか含まれていないため,背景濃度は非常に低いという事実が含まれます.ヘリウムは質量も比較的低く,移動性があり,完全に惰性/非反応性である.ヘリウムは燃えやすいものでもあり,一般的に広く利用可能で低コストである.ヘリウムの漏れ検査は,さまざまな... もっと見る
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