Wayeal 原子吸光分光光度計によるエッチング液中のインジウムとスズの含有量の測定

事件の詳細

エッチング液中のインジウムとスズの濃度の変化は、エッチング速度とパターン精度に直接影響します。これらの含有量を決定することにより、エッチング条件を正確に制御することができ、濃度変動による不完全なエッチングや過剰なエッチングを回避し、製品の歩留まりを確保することができます。さらに、インジウムとスズはいずれもレアメタルであり、インジウムは特に高価です。この検出により、エッチング液が「寿命」に達したかどうかを判断できるようになり、時期尚早の交換による無駄を回避できるだけでなく、廃液中の金属濃度のモニタリングが可能になり、効率的な回収と再利用が容易になり、生産コストが大幅に削減されます。

一方、エッチングプロセスが進むにつれて、溶解したインジウムとスズが蓄積し続けます。定期的に判定することで浴の劣化度合いを監視し、新液を補充するか浴全体を交換するかを判断できるため、生産ラインの継続性と安定性を維持できます。

インジウムとスズを含む廃液は危険物に分類されます。その内容を正確に判断することは、廃水処理、規制報告、環境排出基準への準拠において不可欠なステップであり、企業が規制に従って適切な処理を行い、環境リスクを回避するのに役立ちます。

キーワード:原子吸光;黒鉛炉法。エッチング液。インジウム;錫。

1. 実験方法

1.1 機器の構成

表1 原子吸光分光光度計の構成一覧

いいえ。	モジュラー	数量
1	AA2310 原子吸光分光光度計	1
2	GF2310 グラファイト炉	1
3	AS2310 オートサンプラー	1
4	循環冷却水チラー	1
5	高純度アルゴンガス	1
6	インジウムホローカソードランプ	1
7	錫ホローカソードランプ	1

1.2 試薬と実験材料

1.2.1 インジウム標準溶液: 1000mg/L;

1.2.2 スズ標準溶液: 1000mg/L;

1.2.3 塩酸: 保証試薬。

1.2.4 硝酸: 保証試薬。

1.2.5 過塩素酸: 保証試薬。

1.2.6 ポリテトラフルオロエチレン (PTFE) るつぼ;

1.2.7 デジタル表示の電気ホットプレート。

2. 結果と考察

2.1 元素のスペクトル条件

パラメータ	イン（インジウム）	Sn（錫）
電流(mA)	3	4
スペクトル帯域幅 (nm)	0.2	0.4
特性波長 (nm)	303.9	286.3
背景補正	AA-BG	AA-BG

2.1.1 標準曲線のテスト

標準曲線シリーズグラジエント濃度表 (μg/L)
コンポーネント名	スタンドカーブ1	スタンドカーブ2	スタンドカーブ3	スタンドカーブ4	スタンドカーブ5	スタンドカーブ6
インジウム	5	10	20	30	40	50
錫	5	10	20	30	40	50

インジウムの標準曲線

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錫の標準曲線

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2.1.2 特定のサンプルの試験結果

サンプル名	検体	サンプル量 (mL)	最終容量 (mL)	希釈係数	試験濃度(μg/L)	サンプル中の含有量 (μg/L)
サンプル	インジウム	1.0	10	1	nd	検出されませんでした
サンプル	錫	1.0	10	2	10.5208	210

3. 注意

3.1 サンプルの前処理中に添加される塩酸、硝酸、過塩素酸はすべて強酸溶液です。適切な保護措置を講じなければなりません。このプロセス全体は換気フード内で操作する必要があります。

4. 結論

実験結果は、インジウムとスズの両方の線形相関係数が 0.999 以上であることを示しました。この方法は正確で信頼性が高く、高感度であり、サンプル中のインジウムとスズの定量に使用できます。