イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2, He3, He4)
通信インターフェイス: RS232/485,LAN
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
漏れ率表示: 数字,バーチャート,グラフ
最大許容される漏れ検知圧 (Pa): 1800Pa
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
製品名: ヘリウム質量スペクトロメーター漏れ検出器
最低検出可能な漏れ率 (Pa·m3/s) /真空モード: 5.0×10-13
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