最大許容される漏れ検知圧 (Pa): 1800Pa
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
製品名: ヘリウム質量スペクトロメーター漏れ検出器
最低検出可能な漏れ率 (Pa·m3/s) /真空モード: 5.0×10-13
ミニリーク検出レート (Pa・m3/s) / スニファーモード: 2.5*10-9 Pa・m3/s
製品名: ヘリウム漏れ検出器
最大許容される漏れ検知圧 (Pa): 1800Pa
検出方法: ヘリウム質量スペクトロメーター
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