半導体産業用 CE 認証された真空ヘリウム漏れ検出機
| Product Name: | モジュラー ヘリウムの質量分析計の漏出探知器 | Power: | 240W |
| Minimum detectable leak rate (Pa·m3/s)/ vacuum mode: | バキュームモード (FINE):1.0×10-12 (ヘリウムポンプ速度2.5L/s) | Startup Time(min): | ≤95s |
| Pakage: | 木製のケースか オーダーメイド | OEM: | 受け入れられました |
| High Light: | ISO90001ヘリウムの漏出探知器,RS232ヘリウムの漏出探知器,RS232彼は探知器を漏らす |
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真空ガス漏れ検出用ヘリウムリークディテクターマシン(工業用冷凍向け)
ヘリウムリークディテクターの紹介
SFJ-16Mは、軽量モジュール構造設計のモジュラーヘリウム質量分析計リークディテクターです。真空またはスニッフィングラインを使用して局所的な高圧検出に使用できる、低圧および高圧検出に適しています。
製品パラメータ
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SFJ-16Mヘリウムリークディテクター |
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性能指標 |
最小検出可能リーク率 |
真空モード(ULTRA):5.0×10-13 Pa·m3/s(ヘリウムポンピング速度> 5 l / s) |
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最小検出可能リーク率 |
5.0×10-8 Pa·m3/s |
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応答時間(秒) |
<1 |
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起動時間(分) |
≤95秒 |
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リーク検出範囲 |
5.0×10-13~1.0×10-3 Pa·m3/s |
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リーク率表示範囲 |
1.0×10-13~1.0×10-3 Pa·m3/s |
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最大許容リーク検出圧力(Pa) |
1500 |
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検出可能な質量 |
2,3,4(H2、He3、He4) |
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基本構成 |
マンマシンインターフェース |
5インチカラーLCDタッチスクリーン |
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イオン源 |
2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え |
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I / O入出力インターフェース |
8つの入力と8つの出力 |
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通信インターフェース |
RS232 / 485、LAN |
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MESインターフェース |
標準 |
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機器の物理的サイズ |
592 * 498 * 370mm |
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リーク検出ポートの仕様 |
DN16 KF / 2個 |
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電源 |
DC24V |
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動作温度 |
0〜40℃ |
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電力 |
240W |
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表示言語 |
中国語と英語の両方 |
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リーク率表示 |
図、棒グラフ、曲線グラフ |
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ヘリウムリークディテクターの性能
1. さまざまなアナログおよびデジタルインターフェースを介して通信の多様性を実現します。
2. 短い起動時間、高速信号応答、およびクリア速度。
3. 高い信頼性のリーク検出効率。
4. インテリジェントな障害プロンプトとアラーム機能。
ヘリウムリークディテクターの適用
電気、
冷凍、
リチウム電池
