半導体部品/シール用の真空室ヘリウム漏れ検出システム
| Product Name: | Helium Leak Detector System | Application: | Semiconductor components/seals |
| High Light: | 真空室の漏れ検出システム,ヘリウム漏れ検出システム,半導体における真空漏れ検出 |
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半導体部品/シール用の真空室ヘリウム漏れ検出システム
ヘリウム漏れ検出システムの導入b
電子部品/密封器の漏れ検出に使用される.溶液は圧力ヘリウムタンク,漏れ検出タンク,ヘリウム質量スペクトロメーター漏れ検出器から成ります.
ヘリウム漏れ検出システムの特徴
1独特のガス回路設計により,ヘリウムのポンプ速度が向上し,ヘリウムの背景清掃の時間が短縮され,ヘリウムの汚染を効果的に防止します.
2最低検出可能な漏れ率は低く,感度は高く,検出範囲はレベル12まであります.
3知的故障表示とアラーム機能
ヘリウム漏れ検出システムの組成
溶液は,圧力ヘリウムタンク,漏れ検知タンク,ヘリウム質量スペクトロメーター漏れ検知器から構成されます.電子部品またはシールが圧力ヘリウムタンクに入れます.指定濃度のヘリウムガス
製品使用
半導体産業,部品/シール
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