Place of Origin:
Anhui, China
ブランド名:
Wayeal
証明:
CE
Model Number:
SFJ-231D
ソープポンプヘリウム漏れ検出器
ヘリウム漏れ検出器SFJ-231Dの技術パラメータ
| 製品名 | ヘリウム漏れ検出器 SFJ-231D |
| 最低検出可能な漏れ率 ((Pa·m3/s) /真空モード | 5.0*10-13歳パム3/s |
| 最低検出可能な漏れ率 ((Pa·m3/s) /嗅覚モード | 5.0*10-9パム3/s |
| 最大許容される漏れ検知圧力 (Pa) | 1500 |
| 応答時間 | <1s |
| 開始時間 | ≤2分 |
| 検出可能な品質 | 23,4 ((H2,He3,He4) |
| 人間と機械のインターフェース | 7インチ色LCDタッチスクリーン |
| イオン源 | 2pcs,イリジウムで覆われたイトリウム酸化物,自動切り替え |
| I/O 入力/出力インターフェース | 8つの入力と8つの出力 |
| 通信インターフェース | RS232/485,USB*2 |
| MES インターフェース | 標準 |
| 漏れ検知ポート | DN25KF |
| 電源 | AC220V 50Hz/60Hz |
| 動作温度 | 0~40°C |
| 言語 | 英語 |
| 漏れ率表示 | 図,バーチャート,曲線図 |
| ダイメンション | 645*678*965mm |
SFJ-231Dヘリウム漏れ検出器の適用ウェッファー
ヘリウム質量スペクトロメトリー漏れ検出技術では,乾燥ポンプ (油のない乾燥真空ポンプ) の適用は主に検査対象機器の作業条件に依存する.ヘリウム質量スペクトロメトリ漏れ検出器の清潔性要件と技術要件 (e).g. ワイアル SFJ-231D)
検出方法:真空噴霧ヘリウム方法 (高感度モード)
1: システム避難とベースライン校正
ベース圧力まで脱出:エッチング室: ≤0.1Pa (ドライポンプ+分子ポンプ組み合わせ);CVD/PVD室: ≤10−3 Pa (コーティング機器に対する要求が高くなる).
漏れ検出器の校正: SFJ-231Dを校正し,計器応答の線性を確認するために標準的な漏れ基準 (例えば,1×10−7 Pa·m3/s) を使用する.
ステップ2:ヘリウムスプレーの検出
検知領域:Oリングの溝,ボルトの穴,VCR/VCO金属シール,溶接接接頭,セラミックアイソレーター,銅のガシケット ベルローズ・コネクション
ヘリウム噴射操作
検出点から3〜5mmの距離で手持ちのヘリウムスプレー銃 (微調整用ノズル0.1mm) を使用する.検出点ごとに2〜3秒間を保持して5cm/sの速度で移動する (SFJ-231D応答時間 <1秒).ヘリウム圧を0に調整する.2-0.3MPa,空気流の混乱を避けるために.
ステップ3:漏れ点の決定と記録
漏れ率: 半導体機器の許容漏れ率: 通常は1×10−9 Pa·m3/s (SEMI標準による).
データ記録: SFJ-231Dが最大漏れ率を示すとき,漏れ点をハイライトペンでマークします.
漏れ率曲線と位置データを保存する (USBで輸出する).
第4段階:再検査と検証
確認された漏れ点にヘリウムを噴射し,再現性を確認する.
主要な漏れを修復した後 ベース圧力に戻し 完全な再検査を行います
問い合わせを直接私たちに送ってください.
