ヘリウム漏れ探知器用のステンレス鋼ピラニ真空計

ピラニ真空計の導入

ピラニの真空計はヘリウム質量スペクトロメーターの真空検出器の鍵となるセンサーです中低真空範囲 (特に粗大ポンプ段階) の圧力測定に使用されるそのコア・センシング・エレメントは,通常,ウォルフスタンやニッケルなどの金属で作られ,全体的なハウジングはステンレス鋼で作られています.

ピラニ真空計の機能

ピラニ真空計は,ヘリウム質量スペクトロメーター漏れ検出器における"プロセスモニター"および"システム保護"の役割を担っており,その特異的な機能は以下のとおりである.
粗質ポンプ (前線) の真空圧の監視:
漏れ検出器が起動すると,機械ポンプはまず真空システムを大気圧から比較的低い圧力 (通常は10Paから0.1Paの順序) に排出しなければならない.ピラニ計は,この段階で圧力の変化をリアルタイムでモニターし,計器インターフェースに表示します.
高真空バルブ開口 (コア保護機能) のインターロックシグナル提供:
漏れ検出器のコア質量スペクトロメーター室は,高真空条件 (通常0.1 Pa以下) でのみ動作することができる.高真空バルブ (機械ポンプを拡散ポンプ/ターボ分子ポンプに接続する) が前線圧が十分に低い前に開けられた場合高真空ポンプに深刻な損傷を与え システム全体を汚染します
ピラニ計は 計器の制御システムと結びついています制御システムは,ピラニ計が前線圧力が事前に設定された安全限界値を下回っていることを検知するとのみ,高真空バルブを開くことを許可し,ターボ分子ポンプを起動します.高価な高真空ポンプと質量スペクトロメーターを保護するための 重要な安全対策です
システム状態と漏れ場所の診断を支援する:
ポンプの圧力低下速度と達成可能な最終安定圧を観察することで,システムに大きな漏れがあるか (圧力が一貫して落ちない) または内部に有意な排出ガスがあるか (圧力がゆっくり落ちる) を予備的に判断できる..
リークテスト中にヘリウムを噴射すると 質量スペクトロメーター信号反応だけでなく ピラニ計の値も 顕著に上昇します通常,比較的大きな漏れがあることを示します..