イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2pcs,イリジウムで覆われたイトリウム酸化物,自動切換
検出方法: ヘリウム漏れ検出
応答時間 (秒): <1秒
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
ミニリーク検出率 ((Pa.m3/s) /真空モード: 5*10−13 パ·ミ3/秒
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
動作温度: 0〜40°C
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
直径: 592mm*498mm*370mm
ミニリーク検出レート (Pa・m3/s) / スニファーモード: 5*10−9 Pa.m3/s
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
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