ミニリーク検出率 ((Pa.m3/s) /スニッファーモード: 5*10−9 Pa.m3/s
イオン源: 2pcs,イリジウムで覆われたイトリウム酸化物,自動切換
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
ダイメンション: 592mm*498mm*370mm
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Ion Source: 2pcs, Iridium Coated Yttrium Oxide, Automatic Switching
Detectable Quality: 2, 3, 4 (H2, He-3, He-4)
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Operating temperature: 0~40°C
Ion Source: 2pcs, Iridium Coated Yttrium Oxide, Automatic Switching
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Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Vaccum Mode: 5*10-13 Pa·m3/s
I/O Input output interface: 8 Inputs, 8 Outputs
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応答時間 (s): <1S
I/O 入力出力インターフェース: 8 インプット 8 アウトプット
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Ion Source: 2pcs， Iridium Coated Yttrium Oxide, Automatic Switching
Detection Method: Helium Leak Detection
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Ion Source: 2pcs, Iridium Coated Yttrium Oxide, Automatic Switching
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
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