helium mass spectrometer leak detector (165) オンライン メーカー
最大許容される漏れ検知圧 (Pa): 1800Pa
検出方法: ヘリウム質量スペクトロメーター
ミニリーク検出率 ((Pa.m3/s) /真空モード: 5*10-13 パ.m3/s
開始時間 (分): ≤1.58分
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
イオン源: 2個、イリジウムコーティング酸化イットリウム、自動切り替え
探索可能な質: 2, 3, 4 (H2,He-3,He-4)
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